Schiebl, M. (2013). Kombination von Röntgenfluoreszenz und Röntgenreflexion bei streifendem Einfall zur verbesserten Charakterisierung von dünnen Schichten und Implantaten auf bzw. in Silizium-Wafern [Diploma Thesis, Technische Universität Wien]. reposiTUm. https://doi.org/10.34726/hss.2013.21333