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Title
Phase stability and thermomechanical properties of sputter deposited Ta-C-N coatings / Thomas Glechner
AuthorGlechner, Thomas
CensorRiedl, Helmut ; Mayrhofer, Paul Heinz
PublishedWien, 2018
DescriptionVI, 69 Blätter : Illustratinen, Diagramme
Institutional NoteTechnische Universität Wien, Diplomarbeit, 2018
Annotation
Zusammenfassung in deutscher Sprache
LanguageEnglish
Document typeThesis (Diplom)
Keywords (DE)Ta-C-N / Thermomechanische Eigenschaften
Keywords (EN)Ta-C-N / Thermomechanical Properties
URNurn:nbn:at:at-ubtuw:1-111138 Persistent Identifier (URN)
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Phase stability and thermomechanical properties of sputter deposited Ta-C-N coatings [2.27 mb]
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Abstract (German)

Carbide und Nitride der frühen Übergangsmetalle sind weit verbreitet als Schutz - und Verschleiß mindernde Schichten aufgrund ihrer hohen Härte und chemischen Beständigkeit. Unter ihnen besitzt Tantal-Carbid (Ta-C) den höchsten Schmelzpunkt sowie weitere außerordentliche Eigenschaften, jedoch den Nachteil hoher Sprödigkeit, die eine breite Anwendung erschweren. In dieser Arbeit wurde daher untersucht, wie durch das Legieren von Nichtmetallen, sprich durch den Austausch von Kohlenstoff- mit Stickstoffatomen, die Eigenschaften gezielt verändert werden können um die Duktilität von Ta-C zu verbessern. Die mittels DFT Berechnungen vorhergesagte Erweiterung des fcc-Ta-C-N Einphasenfeldes für höhere Stickstoffgehälter durch Lehrstellen konnte experimentell bis zu einem Stickstoffgehalt von ca. 65 % am Nichtmetall-Untergitter bestätigt werden. Die bevorzugten Leerstellenart variiert dabei mit zunehmender Stickstoffkonzentration. Mechanische Untersuchungen ergaben, dass die Härte ausgehend von TaC0.71 mit steigendem Stickstoffgehalt von ca. 40 GPa auf 25 GPa für TaC0.32N0.68 erniedrigt wird. Das elbe gilt für den gemessenen E-Modul, dessen Verlauf wiederum in guter Übereinstimmung mit den berechneten elastischen Konstanten liegt. Gemeinsam mit einer etwas geringeren thermischen Stabilität, die sich durch einen Massenverlust und einer damit verbunden Phasenzersetzung bei ca. 1300 C zeigt, sowie berechneten Zustandsdichten, deutet diese Erniedrigung auf eine Abnahme des kovalenten Bindungscharakters und eine verstärkt metallische Binding hin. Das semi-empirische Pugh-Kriterium für Duktilität deutet zusätzlich auf ein vermehrt duktiles Verhalten mit zunehmenden Stickstoff in der Schicht hin. Mikormechanische Versuche an einer 110-texturierten Ta0.47C0.34N0.19 Schicht zeigen plastische Verformung trotz einer Härte von 43.31.4 GPa. Die Verformung erfolgt dabei hauptsächlich über das

Abstract (English)

Exploring novel thin film materials with outstanding mechanical properties especially, high hardness but simultaneously high damage tolerance as well as superior temperature stability is for a major goal in the field of protective coating-applications. Therefore, thin film materials such as transition metal (TM) carbides, nitrides, and borides are highly popular in this field. Among all these ceramic thin films, the binary Ta-C system exhibits the highest melting temperature combined with further outstanding properties such as chemical inertness, or high thermal conductivity. However, the extreme brittle behavior of this compound drastically limits the field of use. Therefore, new concepts such as tailoring thermomechanical properties by substituting carbon with nitrogen atoms is a highly interesting approach, changing the bonding state towards a more metallic like character through non-metals hence increasing ductility. Based on ab initio calculations we could experimentally proof, that up to a nitrogen content of about 65 % on the non-metallic sublattice, Ta-C-N crystals prevail a face centered cubic structure in sputter deposited thin films. The cubic structures are partly stabilized by both non-metal and Ta vacancies, whereas metal defects are decisive for nitrogen rich compositions. With increasing nitrogen content super-hard fcc-TaC0.71 thin films weaken from around 40 GPa to 25 GPa for TaC0.32N0.68, respectively, accompanied by a linear decrease in indentation modulus. In accordance with a slightly reduced thermal stability, meaning phase degradation detected around 1300 C in DSC/TG analysis, this indicates a reduced bonding strength hence a reduced covalent and more metallic like bonding character also confirmed by PDOS. Pughs semi-empirical criterion for ductility (B/G > 1.75) even suggest ductile behavior with the addition of nitrogen. This finding is confirmed by various micromechanical testing methods on a sputter deposited 110-oriented Ta0.47C0.34N0.19 film. Although this film exhibits super-hardness (43.31.4 GPa) plastic deformation is observed in micro-pillar compression tests over a yield stress, Y, of 16.891.39 GPa with

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