Bibliographic Metadata

Title
Heißpressen und charakterisieren von metalloxidischen Sputtertargets mit erhöhter elektrischer Leitfähigkeit : eine Fallstudie zu Nb205, ZnO und SnO2 / Michael Stückler
Additional Titles
Hot-pressing and characterization of metal-oxidic sputtering-targets with Increased electrical conductivity
AuthorStückler, Michael
CensorEisenmenger-Sittner, Christoph
PublishedWien, 2017
Descriptionv, 72 Blätter : Illustrationen, Diagramme
Institutional NoteTechnische Universität Wien, Diplomarbeit, 2017
Annotation
Zusammenfassung in englischer Sprache
Annotation
Abweichender Titel nach Übersetzung der Verfasserin/des Verfassers
LanguageGerman
Document typeThesis (Diplom)
Keywords (DE)Kathodenzerstäubung / Target / Sintern / Leitfähigkeit
Keywords (EN)Sputterint / Taeget / Sintering / Conductivity
URNurn:nbn:at:at-ubtuw:1-102627 Persistent Identifier (URN)
Restriction-Information
 The work is publicly available
Files
Heißpressen und charakterisieren von metalloxidischen Sputtertargets mit erhöhter elektrischer Leitfähigkeit [53.86 mb]
Links
Reference
Classification
Abstract (German)

Beschichtungstechnologien besitzen in der heutigen Wissenschaft und Technik einen sehr hohen Stellenwert. Egal ob in der Optik, der Mechanik oder der Elektronik; Beschichtungen sind in der Lage die Eigenschaften eines Bauteils derart zu verbessern damit sie hervorragende Funktionalität besitzen. Eine der wichtigsten Beschichtungstechnologien ist das Sputtern, oder auch Kathodenzerstäubung genannt. In der industriellen Anwendung ist man stets bestrebt den Beschichtungsprozess so effizient, d.h. so preiswert und so einfach regelbar, wie möglich zu gestalten. So werden der RF-Sputterprozess wegen seiner hohen Kosten und der vollreaktive Sputterprozess wegen seiner komplexen Regelung eher gemieden. Bei Metalloxidtargets ist man dazu übergegangen diese substöchiometrisch und somit elektrisch leitfähig herzustellen, damit der teilreaktive DC-Sputterprozess verwendet werden kann. Die elektrische Leitfähigkeit solcher Targets kann aber auch mit Hilfe einer zusätzlichen Phase bestehend aus dem jeweiligem Reinmetall gesteigert werden, was außerdem eine erhöhte Bruchzähigkeit mit sich bringt. Auch in der Herstellung keramischer Targets ist man bestrebt die Effizienz zu maximieren. Eine Herstellungsart welche gegenüber dem konventionellem Sintern einige Vorteile aufweist ist das Heißpressen. Durch den hier angewandten Druck ist kein Formgebungschritt erforderlich, die Sinterzeit verkürzt sich erheblich und die benötigte Sintertemperatur ist niedrigerer im Vergleich zum konventionellen Sinterprozess. Ziel dieser Arbeit ist es elektrisch leitfähige Sputtertargets aus Nb2O5, ZnO und SnO2 mittels Heißpressen herzustellen und anschließend deren DC-Sputterverhalten zu charakterisieren. Die mit Hilfe dieser Targets hergestellten Schichten sollen für die jeweiligen Hauptanwendungen geeignet sein.

Abstract (English)

Coating technology plays an important role in today's science and industry. Wether in optics, mechanics or electronics; coatings make it possible to improve and optimize a component's features. One important and often used coating technology is the sputter process. Today's industry strives for more efficient, in other words cheaper and less complex, coating processes. The RF-sputter process and the full reactive sputter process are avoided because of their high coats respectively their high complexity. Because of that metal-oxide targets are manufactured with substoichiometric composition in order to increase electrical conductivity for enabling the reactive DC-sputter process. Another way to reduce the electrical resistance of these targets would be the addition of a phase consisting of the corresponding pure metal, which would also reduce the brittleness of the target. Also in the manufacturing process were made a few improvements to increase efficiency. A manufacturing process that possesses a few advantages compared to conventional sintering is the hot-pressing. Due to the applied pressure there is no need to form a green body and also the sintering time and temperature is lowered. The goal of this thesis is to hot-press electrical conductive sputtering-targets made of Nb2O5, ZnO and SnO2, and to analyze their DC-sputtering characteristics. The layers built with the help of these targets should be suitable for the material's main applications.

Stats
The PDF-Document has been downloaded 24 times.