Bibliographic Metadata

Title
Integration eines Silizium-Drift-Detektors in einen vollautomatischen Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Waferanalysator / Florian Meirer
AuthorMeirer, Florian
CensorStreli, Christina
Published2005
DescriptionIII, 136, 12 Bl. : graph. Darst.
Institutional NoteWien, Techn. Univ., Dipl.-Arb., 2005
LanguageGerman
Bibl. ReferenceOeBB
Document typeThesis (Diplom)
URNurn:nbn:at:at-ubtuw:1-20564 Persistent Identifier (URN)
Restriction-Information
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Integration eines Silizium-Drift-Detektors in einen vollautomatischen Totalreflexions-Röntgenfluoreszenz-Waferanalysator [6.78 mb]
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