Titelaufnahme

Titel
Microsystems for particle analysis / von Jeroen H. Nieuwenhuis
VerfasserNieuwenhuis, Jeroen Hans
Begutachter / BegutachterinTelleman, P. ; Vellekoop, Michael J.
Erschienen2005
UmfangIX, 99 Bl. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftWien, Techn. Univ., Diss., 2005
Anmerkung
Zsfassung in dt. Sprache
SpracheEnglisch
Bibl. ReferenzOeBB
DokumenttypDissertation
Schlagwörter (GND)Mikrosystemtechnik / Teilchen / Mikrometerbereich / Analyse
URNurn:nbn:at:at-ubtuw:1-19375 Persistent Identifier (URN)
Zugriffsbeschränkung
 Das Werk ist frei verfügbar
Dateien
Microsystems for particle analysis [6.7 mb]
Links
Nachweis
Klassifikation
Zusammenfassung (Deutsch)

The thesis discusses the development of four new microsystems for the analysis of small particles (diameter 5-50 m). The microsystems have been designed to take advantage of the unique physics found at the micro-scale. IC-technology has been used to fabricate the microsystems on a common silicon-glass platform.