Titelaufnahme

Titel
Focused Ion Beam basierte Metallisierung für sub - 100nm - Bauelemente / Helmut Langfischer
VerfasserLangfischer, Helmut
Begutachter / BegutachterinBertagnolli, Emmerich
Erschienen2003
UmfangVI, 129 S. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftWien, Techn. Univ., Diss., 2003
Anmerkung
Zsfassung in engl. Sprache
SpracheDeutsch
Bibl. ReferenzOeBB
DokumenttypDissertation
Schlagwörter (GND)Bauelement / Metallisieren / Wolfram / Ionenplattieren / Galliumion
URNurn:nbn:at:at-ubtuw:1-11259 Persistent Identifier (URN)
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Focused Ion Beam basierte Metallisierung für sub - 100nm - Bauelemente [11.94 mb]
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