Titelaufnahme

Titel
Aluminiumoxidabscheidung durch Plasma - CVD / Markus Fink
VerfasserFink, Markus
Begutachter / BegutachterinLaimer, Johann
Erschienen2003
Umfang191 Bl. : Ill., graph. Darst.
HochschulschriftWien, Techn. Univ., Diss., 2003
Anmerkung
Zsfassung in engl. Sprache
SpracheDeutsch
Bibl. ReferenzOeBB
DokumenttypDissertation
Schlagwörter (GND)Aluminiumoxide / PECVD-Verfahren
URNurn:nbn:at:at-ubtuw:1-10901 Persistent Identifier (URN)
Zugriffsbeschränkung
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Aluminiumoxidabscheidung durch Plasma - CVD [7.74 mb]
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