Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme

Organization Name (de) Name der Organisation (de)
E366 - Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
 
Code Kennzahl
E366
 
Type of Organization Organisationstyp
Institute
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261Schmid, Ulrich ; Hajian, Ali ; Bittner, Achim Wet chemical Etching as an Effective Technique for the Local Permittivity Reduction of LTCC SubstratesKonferenzbeitrag Inproceedings2019
262Chien, Miao-Hsuan ; Brameshuber, Mario ; Rossboth, Benedikt ; Schütz, Gerhard J. ; Schmid, Silvan Single-molecule Optical Absorption Imaging by Nanomechanical Photothermal Sensing at Room TemperatureKonferenzbeitrag Inproceedings2019
263Schmid, Ulrich ; Schneider, Michael Aluminium Nitride based Piezoelectric MEMS: From Material Aspects to Low Power DevicesKonferenzbeitrag Inproceedings2019
264Hafner, Jonas ; Berger, Claudio ; Platz, Daniel ; Schmid, Ulrich Plates as Probes for Atomic Force Microscopy in Liquid EnvironmentsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
265Nicolics, Johann ; Walla, T. Embedded ComponentsBuchbeitrag Book Contribution2019
266Geokdeniz, Zeynep ; Khatibi, Golta ; Nicolics, Johann ; Steiger-Thirsfeld, Andreas Behaviour of Silver-Sintered Joints by Cyclic Mechanical Loading and Influence of TemperatureKonferenzbeitrag Inproceedings2019
267Schmidt, Rainer ; Mayrhofer, Patrick ; Schmid, Ulrich ; Bittner, Achim Impedance spectroscopy of Al/AlN/n-Si metal-insulator-semiconductor (MIS) structuresArtikel Article 2019
268Goekdeniz, Zeynep ; Khatibi, Golta ; Nicolics, Johann Fatigue behavior of Ag-sintered jointsPräsentation Presentation2019
269Goekdeniz, Zeynep ; Khatibi, Golta ; Nicolics, Johann Fatigue Behavior of Sintered Cu-Ag-Cu Lap-jointsPräsentation Presentation2019
270Goekdeniz, Zeynep ; Khatibi, Golta ; Nicolics, Johann Influence of Temperature on Mechanical Fatigue of Sintered Cu-Ag-Cu JointsPräsentation Presentation2019
271Patocka F - 2019 - Position-dependent mass responsivity of silicon MEMS...pdf.jpgPatocka, F. ; Schneider, M. ; Dörr, N. ; Schneidhofer, C. ; Schmid, U. Position-dependent mass responsivity of silicon MEMS cantilevers excited in the fundamental, two-dimensional roof tile-shaped modeArticle Artikel 2019
272Dorfmeister, Manuel ; Schneider, Michael ; Schmid, Ulrich A Bistable Ultrasonic Mems Device With An Integrated Piezoelectric Scandium-Aln Thin Film Actuator For SwitchingKonferenzbeitrag Inproceedings2019
273Schneider, Michael ; Weißenbach, Josef ; Schmid, Ulrich Einfluss von Substrattemperatur und Bias-Spannung auf die Eigenschaften von gesputterten AlN Dünnfilmen für BAWsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
274Platz, Daniel ; Gesing, André L. ; Schmid, Ulrich Modellierung der Fluiddämpfung unkonventioneller Schwingungsmoden in MEMS-Resonatoren - Modelling fluid damping of non-conventional vibrational modes in MEMS resonatorsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
275Pfusterschmied, Georg ; Weinmann, Christoph ; Schneider, Michael ; Hospodka, Markus ; Mirwald, Johannes ; Hofko, Bernhard ; Schmid, Ulrich Bestimmung der dynamischen Viskosität von Bitumenderivaten bis 64000 mPa∙s mit piezoelektrischen MEMS-ResonatorenKonferenzbeitrag Inproceedings2019
276Hrdy, Radim ; Prasek, Jan ; Fillner, Patrik ; Vancik, Silvestr ; Hubalek, Jaromir ; Schmid, Ulrich Development of HfO2/Al2O3 Stack for On-Chip Capacitor ApplicationsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
277Prasek, Jan ; Houska, David ; Hrdy, Radim ; Hubalek, Jaromir ; Schmid, Ulrich Optimization of Deep Reactive Ion Etching Process for on Chip Energy StorageKonferenzbeitrag Inproceedings2019
278Schmid, Ulrich ; Schneider, Michael High Performance Piezoelectric AlN MEMS Resonators for Liquid Sensing and Beyond - The Potential of PiezoMEMSKonferenzbeitrag Inproceedings2019
279Gesing, André L. ; Platz, Daniel ; Schmid, Ulrich Modeling non-conventional vibrational modes of micro-resonators in viscous fluidsKonferenzbeitrag Inproceedings2019
280Platz, Daniel ; Forchheimer, D. ; Schmid, Ulrich ; Sader, J. E. ; Haviland, D.B. Reconstructing Nonlinear Interactions in Micro- and Nanosystems with the Numerical Kernel Estimate MethodKonferenzbeitrag Inproceedings2019